1、安裝狀態(tài)／安裝模式
為了使用激光位移傳感器測量目標(biāo)物，需要接收器獲取目標(biāo)物的反射光。為了使三角測量方式的激光位移傳感器可適當(dāng)接收反射光，需根據(jù)目標(biāo)物的表面狀態(tài)，傾斜安裝傳感頭。
2、參考距離
通過激光位移傳感器測量目標(biāo)物時(shí)，測量值為０的點(diǎn)。一般表示從傳感頭的下面到測量范圍中心的距離。
3、測量范圍
表示激光位移傳感器可測量目標(biāo)物位移量的范圍。一般以參考距離為基準(zhǔn)，表示±○○mm。比如：參考距離：30 mm，測量范圍：±5 mm，表示激光位移傳感器可在以下范圍內(nèi)測量目標(biāo)物。
4、光源
在激光位移傳感器中使用光線從發(fā)射器對目標(biāo)物照光，并用接收器接受其反射光。該光源可使用紅色半導(dǎo)體激光、藍(lán)色半導(dǎo)體激光、白光、SLD、綠色LED等多種光。依照測量儀原理決定使用哪種光源，并使用光源相應(yīng)的鏡頭和光接收元件等，可實(shí)現(xiàn)高精度的測量。
5、光點(diǎn)直徑
激光位移傳感器一般包括2種光點(diǎn)直徑。分為橢圓形狀的光點(diǎn)直徑和小光點(diǎn)型的光點(diǎn)直徑。
橢圓形狀的光點(diǎn)直徑可測量橢圓內(nèi)的平均高度，因此不易受到目標(biāo)物表面粗糙度誤差的影響。但光點(diǎn)尺寸變大，因此不適于測量形狀和較小部位。
而小光點(diǎn)型的光點(diǎn)直徑光點(diǎn)較小，可有效測量形狀或細(xì)微部位，但同時(shí)還會(huì)跟蹤表面粗糙度，與橢圓形狀的光點(diǎn)直徑相比，易于受到表面粗糙度誤差的影響。
6、重復(fù)精度
表示重復(fù)測量目標(biāo)物定點(diǎn)時(shí)的偏差。
7、直線性
直線性是表示激光位移傳感器性能的指標(biāo)。表示理想值與實(shí)際測量結(jié)果誤差的最大值。例如，使用直線性為±5μm的測量儀移動(dòng)1㎜的目標(biāo)物時(shí)，表示所顯示的值可能包含±5μm的誤差（9.995μm至1.005μm）。
直線性的規(guī)格規(guī)定為±○○％of F.S.，F(xiàn).S.表示測量范圍，可按以下示例進(jìn)行計(jì)算。直線性越小的測量儀越可稱之為越好的測量儀。
8、溫度特性
溫度特性表示傳感頭的溫度變化1度時(shí)所發(fā)生的測量值誤差的最大值。在傳感頭的內(nèi)部中，使用了鏡頭或CMOS及固定這些構(gòu)件的夾具。因溫度變化，上述構(gòu)件會(huì)發(fā)生膨脹或收縮，且成像在CMOS上的光點(diǎn)位置變化會(huì)產(chǎn)生誤差。
9、環(huán)境光照
表示激光位移傳感器可不受外部光線影響進(jìn)行測量的外部光源的最大照度。
10、環(huán)境溫度
保證測量儀動(dòng)作的溫度環(huán)境。
11、相對濕度
保證測量儀動(dòng)作的濕度環(huán)境。
12、抗震動(dòng)
表示對激光位移傳感器振動(dòng)影響的指標(biāo)。
13、采樣周期／采樣速度
表示激光位移傳感器在1秒內(nèi)可測量的數(shù)據(jù)點(diǎn)數(shù)。采樣周期為100 Hz的激光位移傳感器在每秒可進(jìn)行100次測量。采樣周期越快的激光位移傳感器越可準(zhǔn)確測量在線移動(dòng)的目標(biāo)物，或可進(jìn)行較多單一時(shí)間內(nèi)的平均化處理，因此能穩(wěn)定測量值。
14、接收光波形
表示光接收元件接收到的光的狀態(tài)為接收光波形?？v軸表示光的強(qiáng)度，橫軸表示光接收元件上的位置。通過確認(rèn)接收光波形的形狀，可判斷是否準(zhǔn)確進(jìn)行當(dāng)前測量。
①理想的接收光波形
可穩(wěn)定測量的接收光波形。
②接收光波形的高度較低時(shí)
無法獲得充足的反射，因此無法進(jìn)行測量。
③接收光波形的高度過高時(shí)
處于飽和狀態(tài)。此時(shí)，測量值的偏差變大。
④接收光波形的形狀左右不對稱時(shí)
測量樹脂等時(shí)，激光將進(jìn)入目標(biāo)物中，使得接收光波形左右更加不對稱。
此時(shí)的測量值將根據(jù)進(jìn)入量平移實(shí)際值。
⑤存在多條接收光波形時(shí)
測量玻璃等透明目標(biāo)物時(shí)，會(huì)產(chǎn)生1條以上的峰值。測量玻璃時(shí)，可獲得表面反射峰值和里面反射峰值總計(jì)2條峰值。
15、光軸、光軸區(qū)域
將激光位移傳感器發(fā)射器照射的光的中心軸稱為光軸。
光軸區(qū)域圖表示從發(fā)射器到接收器的光的路徑。若在該區(qū)域內(nèi)放入夾具等，則光不會(huì)照射到目標(biāo)物或接收器，因此無法進(jìn)行測量。
16、電源電壓
驅(qū)動(dòng)產(chǎn)品時(shí)所需的電源電壓。如果為24 VDC±10％的規(guī)格，則表示直流電源，需要電壓24 V變動(dòng)量在±2.4 V以內(nèi)的電源。
17、最大消耗電流
驅(qū)動(dòng)產(chǎn)品時(shí)所消耗的電流量。使用的電源需要選擇比該最大消耗電流容量還大的產(chǎn)品。
